非晶薄膜的生長特性
非晶態(tài)是一種近程有序結(jié)構(gòu)。就是在2個一3個原子距離內(nèi)原子排列是有秩序的,大于這個距離其排列是雜亂無規(guī)則的。例如,非晶硅的每個原子仍為四價(jià)共價(jià)鍵,并且與最近鄰原子構(gòu)成四面體,仍是有規(guī)律的。非晶態(tài)的另一個特點(diǎn)是,其自由能比同種材料晶態(tài)的自由能高,即處于一種亞穩(wěn)態(tài),有向平衡態(tài)(穩(wěn)定態(tài))轉(zhuǎn)變的趨勢。但是從亞穩(wěn)態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)樽杂赡艿偷钠胶鈶B(tài),必須克服一定的勢壘。因此,非晶態(tài)及其結(jié)構(gòu)具有相對的穩(wěn)定性。這種相對穩(wěn)定性直接關(guān)系著非晶態(tài)材料的使用壽命和應(yīng)用。典型的非晶態(tài)材料是玻璃,此外,由蒸發(fā)、濺射、CVD等方法在基片溫度較低時制得的許多薄膜都屬于非晶態(tài)。