薄膜開關(guān)薄膜表面粗糙度檢測
1測試原理
薄膜表面存在微小的凹凸不平的表面,利用儀器的觸針(或探頭)在薄膜表面移動,從而測出薄膜的表面粗糙度Ra.
2試驗(yàn)儀器和用品
a)能滿足薄膜試樣的平均粗糙度側(cè)試范圍及精度要求的表面粗糙度測試儀器均可使用,儀器誤差不大于士10%.
b)丙酮少許及端部包有脫脂棉花的棉簽.
3試樣制備
從樣品上縱、橫向各取三塊試樣,其尺寸以能完全覆蓋與儀器配套的測試小平面為準(zhǔn).試樣表面必須潔凈,無損傷、褶皺。
4試驗(yàn)步驟
用棉簽蘸上丙酮清洗儀器的測試平面.將試樣放在儀器的測試平面上,試樣要完全貼緊平面,無氣泡存在。試樣的被測試面朝向測試指針,讀出3塊試樣縱、橫向各六個(gè)Ra的數(shù)值.
5結(jié)果的計(jì)算與表示
薄膜的表面粗糙度以三個(gè)試樣的六個(gè)Ra的算術(shù)平均值表示,單位為5m.