薄膜結(jié)構(gòu)與沉積原子的人射方向也有關(guān)
薄膜結(jié)構(gòu)與沉積原子的人射方向也有關(guān)。原子人射角的大小對薄膜結(jié)構(gòu)有很大影響,使薄膜產(chǎn)生各向異性。隨著結(jié)晶顆粒的增大,而入射的沉積原子就逐漸沿著原子的人射方向長大,于是會產(chǎn)生所謂的自身影響效應(yīng),從而使薄膜表面出現(xiàn)凹凸不平,缺陷較多,并出現(xiàn)各向異性。這種沿原子人射方向生長的傾向,在人射角越大時,表現(xiàn)得越嚴(yán)重。