www国产精品内射,久久99久久99精品中文字幕,我爱我色成人网,亚洲精品国产成人片

歡迎訪問揚(yáng)州欣達(dá)電子有限公司網(wǎng)站! 關(guān)于我們 聯(lián)系我們

專注于薄膜開關(guān),薄膜面板等研發(fā)與生產(chǎn)

安全省心,有效控制成本

img

咨詢電話:

0514-86859177

img

咨詢電話:

13805251384

PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
行業(yè)資訊
企業(yè)動(dòng)態(tài)
技術(shù)文章
咨詢熱線

0514-86859177

技術(shù)文章

薄膜內(nèi)應(yīng)力起因

    一般認(rèn)為薄膜內(nèi)應(yīng)力是由熱效應(yīng)、相變、界面應(yīng)力、雜質(zhì)效應(yīng)等因素綜合作用的結(jié)果。
    一、熱效應(yīng)
    熱效應(yīng)是內(nèi)應(yīng)力的主要來源。因此在選擇基片時(shí)應(yīng)盡量選擇其熱膨脹系數(shù)與薄膜相接近的材料,或者選擇可使薄膜處于壓應(yīng)力狀態(tài)的基片材料。基片溫度對(duì)薄膜的內(nèi)應(yīng)力影響很大,它直接影響吸附原子在基片表面的遷移能力,從而影響薄膜的結(jié)構(gòu)、晶粒的大小、缺陷的數(shù)最和分布,而這些都與內(nèi)應(yīng)力大小有關(guān)。
    二、相變
    薄膜的形成過程實(shí)際上也是一個(gè)相變過程,即由氣相變?yōu)橐合嘣僮優(yōu)楣滔?,這種相變帶來體積上的變化,從而產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。在薄膜形成過程中,首先是在基片上凝聚成短程有序的類液體固相,這時(shí)薄膜并沒有本征應(yīng)力;當(dāng)類液體固相向穩(wěn)定的晶相轉(zhuǎn)變以后,由于兩相密度不同,就產(chǎn)生了本征應(yīng)力。例如Ga由液相變?yōu)楣滔鄷r(shí)體積將發(fā)生膨脹,因而薄膜內(nèi)將產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力;Sb在常溫下形成的薄膜一般是非晶態(tài),當(dāng)膜厚超過某一臨界值時(shí)將發(fā)生晶化,晶化時(shí)體積收縮,薄膜內(nèi)就產(chǎn)生張應(yīng)力。
    三、界面應(yīng)力
    當(dāng)薄膜材料的晶格結(jié)構(gòu)與基片材料的晶格結(jié)構(gòu)不同時(shí),薄膜最初幾層的結(jié)構(gòu)將受到基片的影響,形成接近或類似基片的晶格尺寸,然后逐漸過渡到薄膜材料本身的晶格尺寸。在過渡層中的結(jié)構(gòu)畸變,將使薄膜產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。這種由于界面上晶格的失配而產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力稱為界面應(yīng)力。為了減少界面應(yīng)力,基片表面晶格結(jié)構(gòu)應(yīng)盡量與薄膜相匹配。
    四、雜質(zhì)效應(yīng)
    在淀積薄膜時(shí),環(huán)境氣氛對(duì)內(nèi)應(yīng)力影響很大。真空室內(nèi)的殘余氣體或其它雜質(zhì)進(jìn)人薄膜結(jié)構(gòu)中將產(chǎn)生壓應(yīng)力。制備好的薄膜置于大氣中,會(huì)受到環(huán)境氣氛的影響,例如銅膜的表面遇到空氣會(huì)在表面生成一層很薄的氧化層,它也會(huì)使薄膜增加壓應(yīng)力。進(jìn)人薄膜中的殘余氣體還可能再跑出來,在薄膜中留下空位或微孔,從而出現(xiàn)張應(yīng)力。由于晶界擴(kuò)散使雜質(zhì)進(jìn)人薄膜中也會(huì)產(chǎn)生壓應(yīng)力。
    除了以上幾種原因以外,在薄膜生長過程中由于小島的合并、晶粒的合并、缺陷、微孔的擴(kuò)散等,會(huì)引起表面張力的變化,也會(huì)引起薄膜內(nèi)應(yīng)力的變化。
亚洲av中文无码乱人伦在线r▽| 真人做受试看120分钟小视频| 日韩人妻无码一区二区三区综合部| 又黄又爽又高潮免费毛片| 久久久国产乱子伦精品作者| 日本成本人片免费网站| 亚洲日韩亚洲另类激情文学| 国产69精品久久久久app下载| 午夜精品一区二区三区在线观看| 无遮挡啪啪摇乳动态图gif| 把女的下面扒开添视频| 中文字幕av无码一区二区三区| 馬与人黃色毛片一部| 变态 另类 欧美 大码 日韩| 人妻中文字幕乱人伦在线| 无遮挡粉嫩小泬久久久久久久| 少妇挑战三个黑人惨叫4p国语| 亚洲国产精品久久亚洲精品 | 久久99精品国产麻豆| 成 人 在 线 免费观看 | 风流老太婆bbb有毛| 亚洲午夜无码久久| 亚洲人成电影在线观看天堂色| 扒开腿狂躁女人爽出白浆| 国产精品久久久久久人妻精品| 台湾无码一区二区| 国产一区二区三区在线电影| 综合久久给合久久狠狠狠97色| 一区二区三区内射美女毛片| 人禽无码视频在线观看| 九九久久自然熟的香蕉图片| 欧美精品videosex极品| 欧美牲交a欧美牲交| 精品一区二区三区在线观看| 东京热人妻一区二区三区 | 亚洲男同帅gay片在线观看| 免费ā片在线观看| 亚洲精品国产a久久久久久| 精品精品国产高清a毛片| 国产尤物精品视频| 久久伊99综合婷婷久久伊|