沉積的薄膜,經(jīng)過熱處理可以改善其結(jié)構(gòu)和性能
沉積的薄膜,經(jīng)過熱處理可以改善其結(jié)構(gòu)和性能。對于單一金屬薄膜,經(jīng)過熱處理可使晶格排列較整齊些。對于合金材料和氧化物材料,經(jīng)過熱處理會使各組分相互擴散,獲得所需的固溶體。熱處理可以部分地消除晶格缺陷,改善薄膜熱穩(wěn)定性,又可清除內(nèi)應(yīng)力,增強薄膜與基片的附著力,同時還可消除膜層中氣體分子的吸附,在薄膜表面生成一層氧化保護層,從而保護膜層免受侵蝕和污染。
基片的表面狀態(tài)對薄膜的結(jié)構(gòu)質(zhì)量也有很大影響。如果基片表面粗糙度低、表面清潔,則所獲得的膜層結(jié)構(gòu)致密,容易結(jié)晶,否則相反,而且附著力也差。
真空度的高低也直接影響薄膜的結(jié)構(gòu)和性能,真空度低,材料受殘余氣體分子污染嚴重,薄膜性能變差,即使在高真空的情況下,薄膜中也免不了有吸附氣體分子,提高溫度有利于氣體分子的解吸。