【技術(shù)文章】介質(zhì)薄膜的電導(dǎo)性質(zhì) 2014-08-13
介質(zhì)薄膜的電導(dǎo)包括直流電導(dǎo)和交流電導(dǎo)。由于測量介質(zhì)薄膜電導(dǎo)時必須制作金屬電極,形成金屬一介質(zhì)一金屬的MIM型結(jié)構(gòu)。所以,只有當(dāng)電極和介質(zhì)薄膜是歐姆接觸時所測量的阻抗或電阻才是介質(zhì)薄膜的阻抗或電阻。按導(dǎo)電載流子性質(zhì)來分類,介質(zhì)薄膜的電導(dǎo)分為離子電導(dǎo)和電子電導(dǎo)兩...